氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。妤林JQ-3300采用了氦質譜檢漏儀專門使用定制分子泵，能極大地提高對氦氣的感應速度，有效改善氦本底的清理時間，阻斷氦氣對質譜室的污染。 全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現了智能自動化，操作方便、簡單可靠。 離子源燈絲，采用氧化釔銥金燈絲，這是我司自主研發和生產使用的，可以使離子源壽命更長，靈敏度更高。JQ-3300所采用的離子源燈絲技術，達到國際先進水平，雙燈絲，自動調氦峰自動切換。可檢漏率即氦質譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。南京多功能氦質譜檢漏儀售后服務

氦質譜檢漏儀常見的檢漏法：1、負壓法檢漏，負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏，正壓法檢漏與負壓法檢漏相反，吸口接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內部放氣管量很大的容器做負壓檢漏很不經濟，而且檢漏速度慢，一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。南京多功能氦質譜檢漏儀售后服務氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。

氦質譜檢漏儀測試高純氣體管道的方法：1. 確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。2. 確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。5. 從較靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴口噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到較后一個焊道或連接處。

氦質譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數壓力容器而言，通常優先選用前一種方法。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內部干燥。氦質譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負壓法和正壓法。

氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產生主要是由于本底峰的不穩定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數不穩定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規，特別是磁放電真空規對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統中抽速不穩定和氦的反擴散。因此，為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規，提高檢漏儀的工作真空度，保證穩定抽速等等。氦質譜檢漏儀通過質譜室的重點供電和測量，成為供電的重點部分。南京多功能氦質譜檢漏儀售后服務

氦質譜檢漏儀真空壓力法主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品。南京多功能氦質譜檢漏儀售后服務

氦質譜檢漏儀維護保養方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標線則添加泵油；如泵油發黑、渾濁則更換泵油。具體操作參見機械泵說明書。清洗，檢漏儀在沒有氦氣進入時，卻有一定漏率指示，并且長時間存在。這種情況多由于檢漏口、波紋管、密封圈等臟污后吸附了氦氣，在檢漏時再次釋放出來造成較大的氦本底。為避免油污、粉塵、雜物進入檢漏儀，在檢漏口下方裝有過濾器，將其拆下用酒精浸泡清洗。檢漏口、波紋管用棉布擦拭即可。儲存，檢漏儀長期不使用時，用盲板將檢漏口、機械泵排氣口封上，觸摸屏用棉布或者硬紙板遮擋，標準漏孔、氣袋噴槍、相關配件裝入包裝盒，存放到陰涼、通風、沒有漏雨、火災等危險的房間。南京多功能氦質譜檢漏儀售后服務

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