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首頁(yè)-半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程施工服務(wù)方案報(bào)價(jià)





更新時(shí)間:2025-12-18
簡(jiǎn)要描述: 隨著空氣潔凈度要求的提高,凈化工程施工工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,達(dá)到定的溫濕度等。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光

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隨著空氣潔凈度要求的提高,凈化工程施工工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,達(dá)到定的溫濕度等。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。確認(rèn)凈化車(chē)間施工工程的設(shè)計(jì)圖紙和要求,形成合理的方案。半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程施工服務(wù)方案報(bào)價(jià)

凈化工程施工時(shí)必須留意的事宜:文明施工:修建潔凈工程時(shí),機(jī)器設(shè)備原材料需有防雨雪天氣、防曬隔離的對(duì)策,防止機(jī)器設(shè)備原材料銹腐脆化,針對(duì)空氣過(guò)濾網(wǎng)等關(guān)鍵器械與機(jī)器設(shè)備,應(yīng)設(shè)定專(zhuān)業(yè)地區(qū)存放,統(tǒng)一整場(chǎng)文明施工和警示標(biāo)識(shí)。獨(dú)特氣象要素工作:設(shè)立臨時(shí)性升溫機(jī)器設(shè)備,保證冬季潔凈車(chē)間工作的規(guī)定。很有可能有零度以下工作溫度時(shí),需有工作自來(lái)水管路的隔熱保溫防寒對(duì)策。此外,潔凈工程時(shí),工作地區(qū)內(nèi)要搞好防水防雨對(duì)策,風(fēng)沙期內(nèi)應(yīng)關(guān)掉通往外部的全部管口,終止系統(tǒng)軟件的運(yùn)作、調(diào)節(jié)。半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程施工服務(wù)方案報(bào)價(jià)做到面積省、減少能量消耗和防止污染或交叉污染等。

影響凈化車(chē)間工程施工的應(yīng)用的因素:換風(fēng):凈化車(chē)間內(nèi)的氣體分配機(jī)械設(shè)備被方案設(shè)計(jì)成“自噴式”,用以提供統(tǒng)一的、清理的已過(guò)濾的氣體。向房間填補(bǔ)的含塵量,讓人想起與一般的花灑相反的消防出水口。這一類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)提供了凈化室基本參數(shù)、等級(jí)劃分和檢測(cè)方法的總方針,但并未說(shuō)明如何是社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展有效地保證要求。它是因?yàn)槊恳粋€(gè)生產(chǎn)過(guò)程和凈化室外的要求是不一樣的,因此,可以采用不一樣的循環(huán)系統(tǒng)含塵量,保證預(yù)計(jì)的地理環(huán)境要求。
凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。各個(gè)部門(mén)之間要相互溝通,研究作業(yè)過(guò)程中必須注意的事項(xiàng)。

凈化車(chē)間工程施工方案:圍護(hù)結(jié)構(gòu):生產(chǎn)車(chē)間分為上、下兩層,下層為生產(chǎn)車(chē)間,吊頂高度3.0m。上層為管路、線路和小型設(shè)備安裝工程層。該區(qū)域?qū)κ覂?nèi)的密閉性、保溫性及表層光潔度需求高。圍護(hù)材料為:墻面選用加厚型鋼龍骨、兩面夾心彩鋼板(總厚度50mm),已砌筑外墻內(nèi)面選用加厚型鋼龍骨、兩面夾心彩鋼板圍護(hù)。墻面高度與吊頂上表層平,端口封平。上層各室內(nèi)相通,有利于安裝施工。墻面安裝大規(guī)模視窗。天花吊頂選用加厚型鋼龍骨、兩面夾心彩鋼板,為可上人吊頂,每平米可載重活負(fù)載不小于50KG。吊頂下為檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室,吊頂上為管路和小型設(shè)備安裝工程層。吊桿均選用直徑10吊桿,凡吊桿長(zhǎng)度超過(guò)1.5m的都需要設(shè)計(jì)反方向支承。凈化工程施工的優(yōu)點(diǎn):保濕性能好,強(qiáng)度,隔熱保溫,強(qiáng)度高。半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程施工服務(wù)方案報(bào)價(jià)
凈化車(chē)間空調(diào)箱配套風(fēng)機(jī)盡量采用變頻風(fēng)機(jī),這不僅節(jié)能,還可靈活調(diào)節(jié)風(fēng)量風(fēng)壓。半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程施工服務(wù)方案報(bào)價(jià)
凈化工程施工的要點(diǎn)有:應(yīng)使用可靠性高的運(yùn)行設(shè)施,凈化工程建筑設(shè)計(jì),應(yīng)確保建筑設(shè)備的安全運(yùn)行,當(dāng)?shù)┏霈F(xiàn)事故后,確保人員、財(cái)產(chǎn)安全。主體結(jié)構(gòu)應(yīng)具備同凈化工程內(nèi)的工藝裝備水平,建筑處理和裝飾水平相適應(yīng)的等水平,潔凈廠房的耐久性、耐火能力,裝修應(yīng)與裝備水平相互協(xié)調(diào),使投資長(zhǎng)期長(zhǎng)揮作用。應(yīng)實(shí)現(xiàn)能夠適應(yīng)將來(lái)變化的設(shè)施,凈化工程的建筑平面和空間布局應(yīng)具有靈活性,為生產(chǎn)工藝的調(diào)整創(chuàng)造條件。凈化工程車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿足加工工藝的條件下,選擇應(yīng)該考慮人的舒適感。半導(dǎo)體行業(yè)凈化工程施工服務(wù)方案報(bào)價(jià)
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