場發(fā)射掃描電鏡：場發(fā)射式電子長筒械具則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度又分別高出10-100倍，放大倍率由25倍到650000倍，同時(shí)電子能量散布但為0.2-0.3eV，在使用加速電壓15kV時(shí)，分辨率可達(dá)到1nm，加速電壓1kV時(shí)，分辨率可達(dá)到2.2nm，所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場發(fā)射式電子長筒械具，一般鎢絲型的掃描電鏡儀器上的放大倍率可到200000倍，實(shí)際操作時(shí)，大部份均在20000倍時(shí)影像便不清楚了，但如果樣品的表面形貌及導(dǎo)電度合適，較大倍率650000倍是可以達(dá)成的。掃描電鏡是用途較為普遍的一種儀器。廈門小型掃描電鏡哪個(gè)廠家比較好

冷場發(fā)射式：冷場發(fā)射式掃描電鏡是通過使用一個(gè)銳利尖晶(lOOnm)和高電壓(3.4kv)獲得高勢場，使電子從鎢線圈中下來，要求具有超高真空度，但使用壽命較長，且具有高性能。冷場發(fā)射式較大的優(yōu)點(diǎn)為電子束直徑較小，亮度較高，因此影像分辨率較優(yōu)。能量散布較小，故能改善在低電壓操作的效果。冷場掃描電鏡為避免針尖被外來氣體吸附，而降低場發(fā)射電流，因此使得發(fā)射電流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，冷場發(fā)射掃描電鏡對真空條件要求較高，冷場發(fā)射式電子長筒械具必需在10-10torr的真空度下操作，雖然如此，還是需要定時(shí)短暫加熱針尖至2500K（此過程叫做flashing，定時(shí)對針尖進(jìn)行清洗），以去除所吸附的氣體原子，此外，他的發(fā)射的總電流較小，但局限于單一的圖像觀察,應(yīng)用范圍有限。要從極細(xì)的鎢針尖場發(fā)射電子，金屬表面必需完全干凈，無任何外來材料的原子或分子在其表面，即使只有一個(gè)外來原子落在表面亦會降低電子的場發(fā)射，所以場發(fā)射電子長筒械具必需保持超高真空度，來防止鎢陰極表面累積原子。廈門小型掃描電鏡哪個(gè)廠家比較好掃描電鏡待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜。

掃描電鏡基本原理：掃描電鏡電子長筒械具發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過較后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號。此時(shí),電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時(shí)成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(AuE)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。

熱場發(fā)射式(thermalfieldemission,TF)：熱場發(fā)式電子長筒械具是在1800K溫度下操作，避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面，所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發(fā)射電流穩(wěn)定度，并能在較差的真空度下(10-9torr)操作，雖然亮度與冷式相類似，但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍。熱場發(fā)射掃描電鏡不但連續(xù)工作時(shí)間長，還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析，但其影像分辨率較差。肖特基發(fā)射式(Schottkyemission,SE)：雖然很多廠商都稱其為場發(fā)射，但其實(shí)它并不是一個(gè)場發(fā)射源，因?yàn)樗念^部是較鈍的，而且如果停止加熱，就不會有發(fā)射電流，更確切的說肖特基是“場輔助熱電子源”。掃描電鏡儀器放大倍數(shù)變化范圍大。

掃描電鏡基本原理：由電子長筒械具發(fā)射的電子束較高可達(dá)30keV,經(jīng)會聚透鏡、物鏡縮小和聚焦,在樣品表面形成一個(gè)具有一定能量、強(qiáng)度、斑點(diǎn)直徑的電子束。在掃描線圈的磁場作用下,入射電子束在樣品表面上按照一定的空間和時(shí)間順序做光柵式逐點(diǎn)掃描。由于入射電子與樣品之間的相互作用,將從樣品中激發(fā)出二次電子。由于二次電子收集極的作用,可將各個(gè)方向發(fā)射的二級電子匯集起來,再將加速極加速射到閃爍體上,轉(zhuǎn)變成光信號,經(jīng)過光導(dǎo)管到達(dá)光電倍增管,使光信號再轉(zhuǎn)變成電信號。這個(gè)電信號又經(jīng)視頻放大器放大并將其輸送至顯像管的柵極,調(diào)制顯像管的亮度。因而,再熒光屏上呈現(xiàn)一幅亮暗程度不同的、反映樣品表面形貌的二次電子象。掃描電鏡普遍應(yīng)用于油氣地質(zhì)領(lǐng)域的研究。廈門小型掃描電鏡哪個(gè)廠家比較好

掃描電鏡可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口。廈門小型掃描電鏡哪個(gè)廠家比較好

場發(fā)射掃描電鏡的條件要求：場發(fā)射掃描電鏡對真空的要求較高，有些儀器在電子長筒械具及磁透鏡部份配備了3組離子泵(ionpump)，在樣品室中，配置了2組擴(kuò)散泵(diffusionpump)，在機(jī)體外，以1組機(jī)械泵負(fù)責(zé)粗抽，所以有6組大小不同的真空泵來達(dá)成超高真空的要求，另外在樣品另有以液態(tài)氮冷卻的冷阱(coldtrap)，協(xié)助保持樣品室的真空度。場發(fā)射的操作注意事項(xiàng)：場發(fā)射式電子長筒械具的電子產(chǎn)生率與真空度有密切的關(guān)系，其使用壽命也隨真空度變差而急劇縮短，因此在樣品制備上必須非常注意水氣，或固定用的碳膠或銀膠是否烤干，以免在觀察的過程中，真空陡然變差而影響燈絲壽命，甚至系統(tǒng)當(dāng)機(jī)。廈門小型掃描電鏡哪個(gè)廠家比較好

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